SpotOn ER型光束位置测量系统

2019/08/15

　　详细内容

　　SpotOn ER型光束位置测量系统

　　扩展范围(ER),宽测量范围的一个新颖的设计。

　　定制20mm x 20 mm 的一个侧向效应探测器,拥有一个光学扩展器和附加的电缆

　　可测量的最大光束尺寸直径是22mm. 这个新探头可用下列系统操作：

　　Spoton PCI或PCMCIA

　　Spoton Analog

　　Spoton Analog USB

　　说明：

　　分辨率：+/- 3um

　　精确度：+/- 1%