PlasCalc等离子体监测系统

2019/08/07

　　PlasCalc 等离子体监测控制仪

　　PlasCalc 等离子体监测控制仪，实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量，通过高级过程控制系统及精密数据存取算法，只需3m就可以获得测量结果。

　　特点

　　光学分辨率1.0nm(FWHM)

　　光谱范围 200-1100nm

　　快速的建模及存储实验方法

　　Recipe编辑器

　　Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等，能够快速简单的构建模块过程控制。

　　多种工具用于等离子体诊断

　　随PlasCalc配置的操作软件，集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算法功能。可选的波长发生器（可以单独购买）用于类型确认，而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显示实际光谱及所有过程控制信息。

　　PlasCalc 配置说明